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等离子清洗机NANO
小型生产型设备NANO可通过不同配置实现各种
等离子工艺,清洗、活化、蚀刻、涂层。高性价
比的设备可满足各种材料样品的中小型生产。
配置可选:主要技术参数:
1. 手动控制
2. *根据工艺要求不同,可设定功率、压强、气体流量等参数
3. 双路工作气体,气体流量通过针型阀流量计控制
4. 反应舱为高硼硅玻璃材质,Φ 240mm、长 400 mm,容积18L
5. 发生器频率100KHz,功率0~500W
6. 运行模式为手动
7. 真空泵的排气能力为14 m3/Hour,原装进口干泵,Kashiyama
8. *配有压力传感器,可根据工艺要求设定压力值
9. 外尺寸:宽 560 mm、高 600-860 mm、深 600 mm
10. 电源电压:单相AC230V 16A
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