是常见的一种高纯气体，其几乎为惰性的双原子气体，化学性质极不活泼，气体分子也比氧分子大，不易热胀冷缩，变形幅度小，应用该范围非常广泛。

高纯氮气主要用途：化肥、氨、硝酸等化合物的制造，惰性保护介质，速冻食品、低温粉碎等的制冷剂、冷却剂，电子工业中的外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻等，还用作标准气、校正气、零点气、平衡气等。