离子注入技术是近几十年来在国际上蓬勃发展和广泛应用的一种材料表面改性高新技术。其基本原理是：用具有一定能量的离子束入射到材料中去，离子束与材料中的原子和分子将发生一系列的物理或化学的相互作用，入射离子逐渐损失能量，最后停留在材料中，并引起材料表面成分、结构和性能发生变化，从而优化材料表面性能，或获得某些新的优异性能,此项高新技术已经在半导体材料掺杂、高分子聚合物等的表面改性上获得了极为广泛的应用，取得了巨大的经济效益和社会效益。

应用领域：半导体掺杂、科学研究、LED发光二极管材料处理、垂直腔面发射激光器、离子束改性、材料制备.