Elitesonic干式超声波清洗除尘装置

•  处理方式: 通过高压震荡风吹出把工作物表面粉尘吹离工件表面,再利用负压风同时带离表面,造成无接触式除尘,是一种高效安全清洁的干式去除粉尘设备。
•  需要去除的产品表面的污染物类型及大小：主要是干燥的颗粒浮尘，大小约为 3μm 及以上。

（速度 30～300mm/S 时去除率 ≥99%）

• 主要应用：液晶屏类；邦定前工件处理；电池薄膜及其它薄膜类；
• 工作尺寸：点状或长度L=20-500mm （超过500mm亦可订制）
•  清洗面：单面或双面
•  外部环境 1000 级洁净室
• 工件传输方式：

         1）通过机械臂真空吸盘移动工件；两台机械臂接驳完成干式超声波双面除尘。

         2）模组真空吸盘移动工件干式超声波单面除尘
         3）滚轮传动方式，上下两面干式超声波双面除尘

干式清洗特点：
       1、3μm及以上的非湿粘附性粉尘能90-100%去除。
       2、干式清洗不需要更换換水或药液，洗后不用干燥，降低运行成本。
       3、非接触式系统不会污染基板及損伤基板表面膜。
       4、由於清洗机是闭环循环系統，不會污染洁净房。

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