说明：

      ■ 本装置最主要的功能是产生兆声波。使水分子以105G的加速度振动,去除物体表面小于0.2μm的微小颗粒。

      ■ Si圆片、GaAs的清洗,液晶玻璃及其他玻璃面罩的清洗.

      ■ 硬盘清洗、平板玻璃、半导体组件、薄膜磁头等脆性材料等的超精密清洗.

      ■ 采用兆声清洗法可以减少化学品和提高纯水的用量,在不破坏晶圆表面特征的前提下,提高对亚微细颗粒及各种污染物的去除能力及生产效率.

■ 主要配置：

       1.振板尺寸：L559×W100×H76mm

       2.槽体结构：内槽采用SUS316L T2.0不锈钢板制作加工,圆角处理.内槽与液体接触部分均镜面抛光处理.

       3.兆声波发生器：

            1)  配发生器1台,电源220V 9.5A。

            2)  频率：950KHz-1MHz

            3)  功率：900W

            4)  尺寸：460ｘ500ｘ143mm

            5)  重量：25kg

            6)  显示：7字段 3位数 LED

            7)  上下限判定功能

            8)  振荡状态显示实行上下限异常显示功能

            9)  可外接远程控制系统,遥控操作工艺流程

          10) 过热安全保护系统

          11) 过流安全保护系统

          12) 锁相环路频率自动跟踪（在不同的温度、载荷和液面高度的情况下,使功率输出最优化）