一.中图仪器SJ6000激光干涉仪功能特点
1. 测量精度高:以激光干涉技术为核心,分辨率可达纳米级;采用高精度环境补偿模块,解决温度、空气压力、相对湿度、材料温度等环境因素对测量结果的影响;使用激光热稳频控制系统,保证激光长期稳频精度;干涉镜与主机分离设计,避免干涉镜受热变形,保证干涉光路稳定。
2. 具有实现线性、角度、直线度、垂直度等几何量的检测功能。可以检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备运动导轨的线性定位精度、重复定位精度等;同时也能检测运动导轨的俯仰角、扭摆角、垂直度和直线度;并且可满足回转轴分度精度的测量。
3. 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表,满足机床误差修正的要求。
4. 具有动态测量(位移-时间曲线、速度-时间曲线、加速度-时间曲线)及测量振幅和频率分析的功能,可进行机床振动测试与分析,滚珠丝杆的动态特性分析,驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性分析等。
5. 内置各种类国标(GB)、ISO(国际)、BS(英制)、美标、DIN(德标)、JIS(日标)等机床检验标准。可依据各种机床标准分析处理数据,并根据测量结果可打印相应的曲线图和数据报告。
6. 可自动监测环境温度、材料温度、环境湿度和大气压力的参数。可选择手动或自动对波长进行环境补偿。
7. 测量记录采用集中式数据库管理,可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检定员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理检定记录;可将检定数据输出到Word、Excel、AutoCAD(选配)文档。
8. 安装方便:基本重量为15kg,简单便携。
二.中图仪器SJ6000激光干涉仪显著特点
1.测量精度高、速度快,稳定性好
①使用美国高性能氦氖激光器,结合伺服稳频控制系统,达到高精度稳频(0.05ppm)
②以光波长(633nm)为测量单位,分辨率可达nm级
③使用高速光电信号采样和处理技术,测量速度可达到4m/s。
④配合有环境补偿单元,在环境变化的情况下,也可以得到较高的测量精度
⑤分离式干涉镜设计,避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变
2. 应用范围广
①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测
②结合我们的软件系统,可以用于速度,加速度,振动分析以及稳定度等分析
③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据,进行动态特性分析
3.软件界面友好
①使用当前热门的软件界面开发工具,软件界面人性化,操作简单。
②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中,更方便用户切换测量类型。
③向导式操作,流程清晰,更符合国内用户的使用习惯。
4 性价比高
性能达到了国外仪器的水准,价格是国内仪器的良心价。