WSPS-2450-6kW大功率固态微波源是专业应用于ISM领域的固态微波能量设备,它可提供6KW的连续波或脉冲功率,可实现输出功率的连续调节、输出相位0-360°的调节、脉冲模式下占空比可调节,频率2450MHz。 WSPS系列大功率固态微波源内置环行器和无源负载,可适应各种驻波比的负载应用,并拥有全面的保护功能,过电压、过电流、过温度、驻波告警。
产品特性:
l 全固态方案设计
l 精确的功率、相位和频率调节功能
l 采用PLL锁相技术,频率稳定度高
l 连续波或脉冲工作模式
l 内置环形器和负载,可实用多种负载应用
l 卓越的可靠性和稳定性,长时间工作功率无衰减
l 本地控制和远程控制可选
应用范围:
应用于微波等离子体化学气相沉积MPcvd、等离子体蚀刻,等离子体清洗等设备。
固态微波源详细技术参数
固态微波源工业微波干燥加热方案