紫外线和强度能量计——用于高强度晶圆步进器：ASML、Nikon、Canon和Ultratech
 
该仪器设计用于ASML、佳能、尼康和超技术高强度晶圆步进器。基于微处理器的358型
外线强度和能量计可测量、存储和调用9个系列的读数。可读取365、400、420和436 nm
波长的强度、能量和时间(4000 mW/cm², 999.9 mJ/cm²)。
应用
358型非常适合各种需要精确测量紫外线能量的行业，适用于任何需要重复、可靠紫外线
测量的应用。
 
特点：
数字显示提供可追溯至NIST的清晰测量
测量强度、时间和能量
记录一系列曝光的偏差百分比
探头波长显示有助于防止设置错误
简单的按钮操作提供可靠的结果
与许多光刻胶的光谱响应相匹配的可拆卸探针
显示读数可以锁定
前面板提醒提示用户
坚固的铝外壳，带有手柄和探头袋，便于携带
 
参数：
强度范围(mw/cm2)  40-4000
能量范围 (mJ/cm2)   0-9999
时间范围 (seconds)  0-9999
波长选择 (nm)    365, 400，420, 436
精度     ± 3.0 (WB)  ± 1.5 (NB)
线性(%)  2
用途:   高强度步进机 
计算 ：平均能量; 能量偏差百分比,可达9个通道的强度和时间
输出输入：   打印，通道选择，选择探头，波长检查
电力   110/220 VAC, 50/60 Hz, 可充电 6v电池 (自动关闭)
尺寸  12.0 W x 5.0 H x 9.0 Dcm
重量   约3.6 kg
 
更有357型号可选，区别在于波段选择和步进器选择上的不同。