紫外能量分析仪（SVG-ASML, Perkin Elmer）
 
*初设计用于系列500和600(SVG/Perkin-Elmer)投影掩模对准器，基于微处理器的317型分析仪监视器允许存储和回看从曝光系列收集的多个曝光参数(强度、能量和时间)。它计算百分偏差和平均能量。交直流操作。对于310, 365, 380，400和436纳米波长和其他波长都是可用的。
317型适用于需要可重复、可靠的紫外测量的任何应用，适用于各种需要精确测量紫外能量的行业。
特点
 
平均达9次曝光
 
数字显示提供清晰、可追溯的NIST测量
 
测量强度、时间和能量
 
记录一系列曝光的百分比偏差
 
探测波长显示有助于防止设置错误
 
简单的按钮操作提供可靠的结果
 
RS 232输出下载和记录分析器测量结果
 
可分离传感器与许多光致抗蚀剂的光谱响应相匹配
 
可以读取显示读数
 
前面板提醒提示用户
 
坚固耐用的铝外壳特征手柄和便携传感器袋
 
参数：
强度范围(mw/cm2)  16-1600
能量范围 (mJ/cm2)   0-9999
时间范围 (seconds)  0-9999
波长选择 (nm)   310, 365, 380,400，436
精度     ± 3
线性(%)  2
用途:   投影对齐 
计算 ：平均能量; 能量偏差百分比,可达9个通道的强度和时间
输出输入：   打印，通道选择，选择探头，波长检查
电力   110/220 VAC, 50/60 Hz, 可充电 6v电池 (自动关闭)
尺寸  12.0 W x 5.0 H x 9.0 Dcm
重量   约3.6 kg