基恩士3D测量仪 3D轮廓仪
*1 以焦點位置為中心，低倍率端 ±5 mm，高倍率端側 ±0.5 mm 的範圍
*2 量測高度時的解析度
基恩士3D测量仪 3D轮廓仪
*3 使用 KEYENCE 規定的基準規，以 KEYENCE 規定的量測模式進行量測時的數值(環境溫度 23 ±1°C)
*4 需要影像連接模組(VR-H2J)
*5 WINOOWs7 Professional 以及 Ultimate
基恩士3D测量仪 3D轮廓仪
型號 | VR-3200 |
類型 | 量測頭 |
適用控制器 | VR-3000K |
觀察量測範圍 | 大视野模式 | 15 型螢幕上顯示倍率 12x | 水平(H) | 24mm |
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| 垂直(V) | 18mm |
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| 15 型螢幕上顯示倍率 25x | 水平(H) | 12mm |
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| 垂直(V) | 9mm |
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| 15 型螢幕上顯示倍率 38x | 水平(H) | 8mm |
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| 垂直(V) | 6mm |
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| 15 型螢幕上顯示倍率 50x | 水平(H) |
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| 垂直(V) | 4.5mm |
| 高倍率模式 | 15 型螢幕上顯示倍率 40x | 水平(H) | 7.6mm |
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| 垂直(V) | 5.7mm |
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| 15 型螢幕上顯示倍率 80x | 水平(H) | 3.8mm |
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| 垂直(V) | 2.9mm |
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| 15 型螢幕上顯示倍率 120x | 水平(H) | 2.5mm |
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| 垂直(V) | 1.9mm |
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| 15 型螢幕上顯示倍率 160x | 水平(H) |
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| 垂直(V) | 1.4mm |
鏡頭 | 1 至 4 倍 |
可量測高度 | 大視野模式：10mm(±5mm) 高倍率模式：1mm(±0.5mm)*1 |
顯示解析度 | 0.1 µm*2 |
重覆精度 (σ) | 高度量測 | 0.5 µm*3 |
| 寬度量測 | 大視野模式：1 µm、高倍率模式：0.5 µm*3 |
量測精度 | 高度量測 | ±3 •µm*3 |
| 寬度量測 | 大視野模式：±5 µm、高倍率模式：±2 µm*3 |
影像連接功能 | 全自動(XY 自動控制+ 自動對焦)量測*4
自動調整、自動範本分析*4 |
載物台 | XY 載物台移動量 | 184 × 88 mm(電動) |
| Z 載物台移動量 | 90 mm(電動) |
| 旋轉角 | ±180°（試料旋轉載物台） |
| 傾斜角 | ±30° 以上 |
動作距離 | 75 mm |
影像擷取元件 | 1 型400 萬畫素黑白CMOS |
投光鏡頭 | 雙重遠心鏡頭 ×2 |
受光鏡頭 | 雙重遠心鏡頭 |
照明系統 | 觀察用光源 | 環形 LED 照明(紅、綠、藍) |
| 量測用光源 | 白光 LED |
影像尺寸 | 1024×768 畫素、2048×1536 畫素 |
資料處理部份 | KEYENCE 指定專用PC(OS 為 WINOOWs7)*5 |
額定 | 電源電壓 | 100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz |
| 耗電量 | 150 VA |
環境抗耐性 | 環境溫度 | +15 至 +30 °C |
| 相對濕度 | 35 至 80 % RH (無凝結) |
重量 | 28.0 kg |
