基恩士VR-5200 3D轮廓测量仪 1台即可完成多种测量项目凝聚了多种测量仪的优点。 搭载全自动处理设定功能，可消除直接导致测量失败的人为设定失误。 测量范围是以往的5倍 从产品整体的形状测量乃至粗糙度测量，无论是大范围还是细微部位，均可由1台设备完成测量。 3D-CAD比较测量功能可比较测量成品与设计之间的差异，并对测量数据进行CAD输出。 | |
型号 | VR-5200 |
类型 | 工作头 |
照明系统 | 观察用光源 | LED环形照明 (红、蓝、绿) |
测量用光源 | 白色LED |
控制器 | VR-5000 |
观察视野 | 低倍 (大视野) | 15 英寸显示器上的倍率 12× | 横 | 24.0 mm |
纵 | 18.0 mm |
15 英寸显示器上的倍率 25× | 横 | 12.0 mm |
纵 | 9.0 mm |
15 英寸显示器上的倍率 38× | 横 | 8.0 mm |
纵 | 6.0 mm |
15 英寸显示器上的倍率 50× | 横 |
纵 | 4.5 mm |
高倍 (高分辨率) | 15 英寸显示器上的倍率 40× | 横 | 7.6 mm |
纵 | 5.7 mm |
15 英寸显示器上的倍率 80× | 横 | 3.8 mm |
纵 | 2.9 mm |
15 英寸显示器上的倍率 120× | 横 | 2.5 mm |
纵 | 1.9 mm |
15 英寸显示器上的倍率 160× | 横 |
纵 | 1.4 mm |
变焦 | 1 至 4 倍 |
高度测量 | 显示分辨率 | 0.1 µm |
高度测量范围 | 无Z 连接 | 低倍 (大视野) : 10 mm
高倍 (高分辨率) : 1 mm |
有Z 连接 | 低倍 (大视野) : 50 mm
高倍 (高分辨率) : 30 mm |
重复精度σ | 无Z 连接 | 0.4 µm*1 |
有Z 连接 | 1.0 µm*1 |
宽度测量 | 重复精度σ | 低倍 (大视野) : 1 µm
高倍 (高分辨率) : 0.5 µm
*1 |
图像拼接功能 | 全自动测量 (XY自动控制 + Z自动控制) 、自动创建MAP 图像、自动设定区域*2 |
XY 可测量范围 | 206 x 104 mm*2 |
载物台 | XY 行程 | 184 x 88 mm (电动) |
Z 行程 | 73 mm (电动) |
承受负重 | 4.5 kg |
动作距离 | 75 mm |
摄像元件 | 1 英寸400 万像素单色CMOS |
投光镜头 | 双远心镜头 x 2 |
受光镜头 | 双远心镜头 |
数据处理部 | 基恩士指定专用电脑 (操作系统为Windows 10 Pro) |
电源 | 电源电压 | 100 至 240 VAC 50/60 Hz |
消耗功率 | 200 VA 以下 |
环境抗耐性 | 使用环境温度 | +15 至 30 ℃ |
工作环境湿度 | 35 至 80 % RH (无凝结) |
重量 | 约 28 kg*3 |
*1 使用基恩士规定的基准规、以基恩士规定的测量模式进行测量时的数值 (环境温度 23 ±1 ℃)
*2 需要使用测量功能扩展模块 (VR-H3J)
*3 测量部单体的重量约为11 kg |
