聚焦离子束(FIB)是一种利用激光束对微小区域进行切割加工的手段,常用在晶元的设计开发的修补,芯片线路的改造,还有失效分析过程的辅助分析。
主要应用,包括芯片线路改造,晶元的线路修补(正面,背面),观测线路生长情况。
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