工厂低价转让2台进口原装GENER-2350真空镀膜机
标配参数: 单枪 离子源 晶控 23公分的射频源 热阻蒸 顶部侧部加热
两个扩散泵 一个螺丝泵 一个机械泵真空室 Ф2350mm×H 1400mm
基板架 Ф2200 mm,5?式
基板架转速 20rpm
晶振式膜厚计 6点式?晶传感器
蒸发源 电?枪1台,热阻蒸
离?源 RF离?源
达到压? 7.0E-5Pa 以下
排?时间 15分以下(??压?2.0×10-3 Pa)
设备尺? 约6300mm (W) ×9000mm (D) ×4000mm (H)
电源 3相,200v,50/60Hz, 约80KVA
?流量 220升/分以上
空?压? 0.5 - 0.7 MPa
重量 约12000kg
用途:此真空镀膜机是镀制防污膜(AS膜)及防反射
膜+防污膜(AS+AS膜)的?型光学镀膜机,
应?于智慧?机等所配的触摸屏。
真空中制备膜层可防止膜料和镀件表面的污染,消除空间碰撞,提高镀层的致密性和可制备单一化合物的特殊功能的镀层。为了提高镀层厚度的均匀性,镀在真空室中夹有行星机构或旋转运动的装置,如一个行星的运动模式,运动模式的膜均匀性好,镀层的台阶覆盖性能好,承载能力大,可充分利用有效空间的真空镀膜室,是一个运动的常用模式。排气系统一般由机械泵,扩散泵,管道和阀门组成。为了提高泵的流量,可以添加增压器之间的机械泵和扩散泵。因此,不仅在较短的时间内低压力以保证快速的工作循环的排气系统,还需要确保气体的蒸发源和蒸镀工件表面产生快速的去除。蒸发系统包括电气设备和加热蒸发源蒸发源。电气设备包括测量真空薄膜的厚度和控制。
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