GPI系列激光干涉测量仪，运用移相干涉原理，提供高精度的平面面形，球面面形，曲率半径，样品表面质量，传输波前的测量和分析。可应用于：
1.平面和球面的面形检测
2.平面楔角测量、直角棱镜的直角偏差和任意角度的加工偏差
3.光学材料均匀性测量
4.角锥角度和面形偏差测量
5.精密盘片质量检验
6.三平板绝对测量
7.双球面绝对测量
8.静态干涉条纹判断
9.泽尼克多项式分析
10.球面曲率半径测量
GPI系列高精度激光干涉测量仪的主机为Fizeau型干涉仪，具有光学器件少，精度高，易于使用等特点。光源为低功率氨氖激光，光束扩展为1英寸（25mm）至 32英寸（810mm）直径，自干涉仪输出。安装在输出孔之前的标准透射器件将部分激光反射回干涉仪，形成参考波面。余下激光穿过透射器至样品。根据光束在样品表面直接反射或透射后再反射回主机，形成测量波面。根据参考波面和测量波面干涉产生的干涉条纹，可以测量样品的表面面形和传输波面质量，样品为平面或球面。如果为非平面和非球面，则需通过加装补偿片等手段进行测量。
GPI系列干涉仪采用精密移相技术和高分辨率CCD接收器件（最高可达 2048 X 2048），配合功能强大的MetroPro™软件可以获得高准确性和高质量的测量结果，其平面样品 PV绝对精度优于λ/100 ！
球面样品 PV绝对精度优于λ/140！并能模拟样品表面面形，包括鲜明的，可旋转的3D彩色图像，可选的剖面图以及各种统计数字结果等。同时，针对用户的各种样品、各种要求，可以通过提供各种精密可选附件，配合功能强大的MetroProTM软件，为用户提供完美的技术解决方案并获得满意的测量结果。
GPI－XP系统最大的特点就是其功能强大的MetroProTM软件系统。使用互动的窗口显示，在屏幕上同时提供仪器控制，表面面形模拟，测量数据的统计分析等功能。测量数据可以存在磁盘上，或传输至其它计算机作进一步处理或统计分析。也可以使用彩色打印机打印出MetroProTM高质量的数据图像。 Mesa―平面度测量仪。 ZYGO公司专为机械加工件和薄型光学元件的平面度测量而设计的一种干步测量仪器，其测量对象是粗糙度为2.5μm(Ra)和平面面形误差150μm(Pa)以下的零件，测量样品直径可达Ф96mm。Mesa同样采用功能强大的MetroProTM软件，可在5秒钟内完成测量和分析，并向用户提供零件的三维面形图和各类测量数据。
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