产品概述材质：不锈钢 精度等级：0.1适用介质：气体 款式：电子带数显转换器形式：一体式 公称直径：3-6mm
压力范围：中压 工作压力：0-10mpa
流量测速范围：0-100SLPMKG/h 温度范围:中温
工作温度：0-65℃ 量程比：1:50
产地：进口 是否加工定制：是BROOKS MFC 气体质量流量计
ODEL型号：5860E
GAS气体：N2
FLOW RANGE流量:100SLPM
INPUT PRESSURE进口压力:：0.4Mpa
OUTPUT PRESSURE出口压力：0.1Mpa
O-RING SEAL 密封:：Viton
FITTING气路接头:：1/4“SWG
OUTPUT 信号输出:0-5V
Power电源：±15V
详细介绍
一、brooks气体质量流量计概览
Brooks的数字与模拟热式质量流量控制器具有业界的性能—我们的许多产品都已连续工作了20年以上。我们的新型热式质量流量设备在响应时间、精度、可重复性、调节比及自诊断方面均具有显着的优势。
我们的热式质量流量产品还通过了多种防护（IP）认证，适用于多种危险场所。
二、brooks气体质量流量计产品特点
· 较低的泄漏率
· 结构紧凑
· 内螺纹排气口抛光处理
· 常闭阀
· 对安装位置不敏感
三、brooks气体质量流量计技术参数
· 数字信号/模拟信号输出,可通过电脑直接显示控制,可配单/四/八通道显示控制器
· 介质:可选H2,O2等非腐蚀性气体或SiO2,SO2等腐蚀性气体
· 流量范围:0.03-30slpm
· 量程比：50:1
· 大工作压力: 1500psi(10.432Mpa)
· 气路接头: 1/4"VCR或1/4"SWG
· 电气接头:15 Pins D-Type或Card-edge
· 精度:±1%FS
· 重复性：0.25% of rate
· 响应时间：1-3s
· 差压要求：3-6bar（压差要求与介质、量程有关）
· 操作温度范围：5~65℃
· 输出信号：0-5VDC或4-20mA
· 电源：+/-15V具体价格面议，欢迎致电咨询
