产品参数

材质：不锈钢                                              精度等级：0.1

适用介质：气体                                           款式：电子带数显

转换器形式：一体式                                     公称直径：3-6mm

压力范围：0-10Mpa                                     工作压力：中压

流量测速：0-100SLPMkg/h                           范围温度：0-65℃

范围工作温度：中温                                     量程比：1:50

产地：美国                                                 加工定制：否

BROOKS MFC 气体质量流量计
ODEL型号：5851S
GAS气体：N2
FLOW RANGE流量:100SLPM
INPUT PRESSURE进口压力:：0.4Mpa
OUTPUT PRESSURE出口压力：0.1Mpa
O-RING SEAL 密封:：Viton
FITTING气路接头:：1/4“SWG
OUTPUT 信号输出:0-5V
Power电源：15-24V

详细介绍

美国布鲁克斯BROOKS 5851S气体质量流量控制器

这台仪器以数值精准，操作简单，反应灵敏，运行稳定的特点受到客户的青睐生产厂家历史悠久，技术和售后完善，本仪器广泛应用于微电子、医疗制药、生化制品、血液制品、食品卫生、化妆用品、精密机械、精细化工和航天航等部门,价格更是比同类型产品优惠很多，是您值得拥有的一款产品

1 流量规格（N2） 10sccm～100slpm

2 准准度 ±1％F.S(Full Scale)

3 重复精度 ±0.25％F.S（Full Scale）
4 响应时间 ≤2sec（特别要求时：≤1sec）
5 耐压 ≤100bar
6 工作环境温度 0℃～50℃
7 输入输出信号 0～5V 0～5V or 4～20mA
8 供电 +15Vdc or +24Vdc 
9 漏率 1×10atm.cc/sec
10 使用范围 2～100％满量程

11.通讯方式：RS485orRS232