高反射曲面零件的超精密加工技术已成为现代高科技领域的前沿研究方向，准确测量和评价超精密加工高反射曲面零件的三维形貌，研究表面几何特性与使用性能的关系，对提高加工表面的质量和产品性能具有重要的意义。

现有的接触式测量方法具有测量速度慢、易划伤测量表面的缺点，而单一的光学非接触测量方法难以完成对大面形或曲率较大的高反射曲面零件三维形貌的高精度测量。SuperVi W3国产白光干涉仪实现了超精密加工高反射曲面三维形貌的高精度非接触测量。

产品参数

产品型号：SuperView W3
产品名称：白光干涉仪
原理：非接触、三维白光扫描干涉仪
扫描装置：长范围，Z轴纳米光栅控制
物镜：Nikon，10×无限远共轭干涉物镜
物镜座：5孔电动物镜塔台（标准）
测量阵列：1024*1024，工业相机
Z轴：100mm行程，纳米位移闭环反馈
安全性：系统集成紧急制动功能
样品台：0.1nm电动，俯仰倾斜±6°，电动调节，XY行程300*300；尺寸450*450mm，亚微米闭环反馈
生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司

技术指标

产品性能特点

1、超大规格平面

2、兼容型12英寸真空吸盘

3、半导体晶圆自动化测量

4、高精度、高重复性
3D重建算法、精密Z向扫描模块和光学干涉技术组成的测量系统，以及能有效隔离2Hz以上频率的隔振系统，保证了测量精度和测量重复性。
5、一体化操作的测量分析软件
测量数据自动统计，可视化窗口，结合自定义分析模板的自动化测量功能，实现了快速批量测量的功能，自动完成多区域的测量与分析过程。
6、精密操纵手柄
集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄，可快速完成Z向聚焦、载物台平移、找条纹等测量前工作。
7、双重防撞保护措施
（1）软件防撞保护ZSTOP
即在Z轴上设置停止位，设置位置到样品表面的距离小于镜头的工作距离，当镜头运动到该位置时，就立刻停止不再向下运动，起到保护样品和镜头的作用。
（2）Z轴硬件防撞传感器
在镜头的上方安装有机械防撞传感器，当镜头向下位移与样品表面直接接触时，触发感应器，镜头与样品表面变为软接触，并触发紧急停止开关，不再响应向下位移的指令，避免镜头和样品的损伤，双重防护，守护设备和产品，也守护每一分价值和信任。

信息化时代下，测量技术是科学技术发展和国民经济提高的关键与基础，尤其是测量型仪器仪表，可以说是信息产业的源头和重要组成部分。

深圳中图仪器SuperVi W3国产白光干涉仪为工件的微观三维形貌和表面特征分析提供可靠依据，降低了劳动强度，提髙了生产效率。同时多种功能使得测量更方便准确。一键式测量及分析，并自动生成测试报告后，不但节约了大量资金，易于维护，方便工人操作；又提高了产品的质量，提升效率，是现代化常用的检测设备。