TC WAFER 是使用特殊加工工艺将耐高温传感器（即 TC）镶嵌于晶圆表面特定位 置，从而可实现晶圆表面温度实时测量的温度传感器。 TC（Thermocouple）为热电偶的简称，Wafer 即晶圆。通过 TCWafer 可获得晶圆 特定位置的真实温度测量值以及整体晶圆的温度分布情况；也可用于持续监控在热处理制 程中晶圆瞬态温度变化，比如：升温，降温，恒温过程及延迟时间等！（通过获得炉温温 度的均匀性数据，从而控制良率等）。 瑞乐是专业的 TC wafer 制造商。在半导体厂的生产工艺中。 有许多高温的工艺需 要精准的温度控制，来达到晶圆薄膜厚度，应力等参数的要求，所以一个测量精度高、稳 定性好的 TC Wafer 是非常重要的。