瑞士丹青Compact WLI白光干涉微观形貌及粗糙度仪是用于记录3D形貌光学测量技术，其分辨率高达纳米级。测量点平行采集和处理，大面积的高度信息可以在很短时间内采集。研究和质量管理过程中的典型应用有：物体表面的不同粗糙度特性（晶圆结构、镜面、玻璃、金属等）、确定高度变化以及曲面的精密测量（如微透镜等）。