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瑞士丹青 TR-SCAN 微观形貌/光学粗糙度测量仪
1台起批
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产品属性
图文详情
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品牌
TRIMOS
型号
TR-SCAN
是否接触
接触式
功能
粗糙度形状测量仪
安装方式
台式
测量范围
暂无
测量参数
暂无
取样长度
暂无㎜
评定长度
暂无㎜
扫描长度
暂无㎜
分辨率
10 nm/35 nm
最大爬坡角度
±30°/±45°
横向分辨率
2.5 µm/1.8 µm
数字孔径
0.7/0.26
光斑直径
3.5 µm/3.5 µm
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