ULVAC爱发科/真空泵/多级罗茨型干泵/HR90
ULVAC爱发科/真空泵/多级罗茨型干泵/HR90
ULVAC爱发科/真空泵/多级罗茨型干泵/HR90
作用:是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。
特点
- 高温区域均热化
实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。
UR系列可比HR系列更加高温化。 - 氦气密封
通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。 - 瞬停对策
采取了1000msec以内瞬停对策。 - 出色的耐腐蚀性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。 - 通信功能
可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。
用途
我司主打品牌明细表：
代理品牌：セメダインCEMEDINE施敏打硬、Nirei仁礼、KAIJO 楷捷、OHM欧姆电机、NIPPONMUKI日本无机、SUIDEN瑞电、TACMINA泰克米纳、AMANO安满能、NIDEC-SHIMPO尼得科新宝、OKK机床、AMADA天田、MRM、新热工业SHINNETSU、 ATAGO爱拓、OKK大宮工業、ARIMITSU有光工业、
化学品：SHINETSU信越化学、THREEBOND三键、TOAGOSEI 东亚合成、三井化学MITSUI、KONISHI小西、
设备类产品: 、 ONIKAZE赤松、 SHOWADENKI 昭和电机、、 OSAWA大泽、TROAY东丽 、EOLUS真空株式会社、KOTOHIRA琴平工业、REVOX莱宝克斯、SONIC索尼克、TOPCON拓普康、CCS光源、MASDAC 隧道式烘烤炉、鈴与工業株式会社 纳豆生产设备、IKURATOOLS育良精机、 ANLET安耐特、Kitagawa北川、ORGANO、YOSHIKAWA吉川铁工、NAKAMURA中村留、SEIBU西部、KIWA纪和机械、SHIZUOKA静冈铁工所、KAN管制作所、TAKEDA武田机械、MEITOU名东化工
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