KLA探针式表面轮廓仪P-7

简介：

KLA是全球半导体在线检测设备市场的供应商，在半导体、数据存储、MEMS、太阳能、光电子以及其他领域中有着极高的市占率。P-7是KLA公司的第八代探针式台阶仪系统，历经技术积累和不断迭代更新，集合众多技术优势。P-7建立在市场的P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。它保持了P-17技术的测量性能，并作为台式探针轮廓仪平台提供了极高的性价比。P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，其扫描可达150mm而无需图像拼接。

主要应用

薄膜/厚膜台阶                蚀刻深度量测

光阻/光刻胶台阶               柔性薄膜

表面粗糙度/平整度表征       薄膜的2D stress量测

表面结构分析                表面的3D轮廓成像

缺陷表征和缺陷分析          其他多种表面分析功能

表面曲率和轮廓分析

主要功能

1、台阶高度:几纳米至1000um

2、微力恒力控制:0.03至50mg

3、样品全直径扫描，无需图像拼接。

4、视频:500万像素高分辨率彩色摄像机圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差。

5、生产能力:通过测序模式识别和SECS/GEM实现全自动化。

产品特性及扩展选项

P-7探针式台阶仪凝聚了KLA在量测领域的大量经验和技术优势并具有丰富的扩展选项。

探针扫描：扫描载台具有150mm的扫描范围以及1mm的扫描高度范围，从而保证质量的2D和3D扫描数据。

台阶重复性：在1微米阶高的重复性为0.4纳米。这归因于极低噪音电子元件亚埃分辨率的电容式传感器，以及超高平整度的平晶基座。

Apex软件：Apex分析软件通过提供调平、滤镜、台阶高度、粗糙度和表面形貌分析技术的扩展套件，增强了P-7的标准数据分析能力。Apex支持ISO粗糙度计算方法以及如ASME之类的本地标准。Apex还可用作报告编写平台，具有添加文本、注释和合格的准则Apex提供 八种语言的版本。

自动化测量：自动化测量包括图案识别、1000个量测序列点和序列队列功能可以极大提高产量。图案识别与高级校准相结合，可减少平台定位误差，并实现系统间配方的无缝传输。自动化测量与特征检测特征发现、Apex软件充分集成后可以实现自动化收集和报告数据的功能。

3D成像：通过3D扫描可以得到表面的三维成像，呈现出彩色三维图像或自上而下的等高线图像。可以从中提取截面/线中的三维或二维数据。

应力分析：能够测量在生产包含多个工艺层的半导体器件期间所产生的应力使用应力卡盘将样品支撑在中性位置并测量样品翘曲，然后通过应用Stoney方程来计算应力。2D应力通过在直径达150mm的样品上通过单次扫描测量，无需图像拼接。3D应力的测量采用多个2D扫描，并结合0平台在扫描之间的旋转对整个样品表面进行测量。

离线分析软件：离线软件可以创建扫描和序列配方，以及分析Profiler或Apex数据。