Zygo NewView 9000 3D 光学轮廓仪提供了强大的非接触式光学表面分析的多功能性。它可以容易和快速地测量各种表面类型,包括光滑、粗糙、平坦、倾斜和阶梯式的表面。所有的测量都是无损、快速、无需样品制备的。
系统的核心是 ZYGO 相干扫描干涉技术(CSI),提供了所有放大倍数下亚纳米的精度,并且能够快速测试各种样品表面。
主要特点:
•高灵敏度 1.9 MP 传感器
•快速非接触式测量
•3D 表面可视化
亚埃级精度
•超精密&计量能力
•增强光学成像
•自动零件定位
性能,价值和多样性
灵活性是 ZYGO NewView 产品的标志。NewView 9000 光学轮廓仪提供了多样化的应用,包括平面度,粗糙度和波纹度,薄膜,台阶高度和其他。
所有NewView 9000 轮廓仪都配备一个3 种变焦塔台,包含量身定做的分立变焦光学系统。样品台配置是完全手动到编码的完全自动化选择。
所有 NewView 9000 轮廓仪系统都提供高精度测量,易于使用和快速测量,价格吸引人, 在通用性和应用价值方面使其成为 3D 光学轮廓仪的理想选择。
以下差异化特性实现用户计量更好、更快和更可靠:
• 大面积 1.9 MP 传感器:高灵敏度,在单次测量中获取更多的信息
• 高速测量:只需几秒时间,优化的测试能力和程序控制
• 自动零件聚焦和定位:缩短用户培训时间,更快获取数据结果
• 重复性特征:优异的测量精度和可重复性,为高要求的生产应用提供
• 抗震测量: SureScan 抗震技术和内置抗震技术使得在震动环境下也可实现高质量的计量
• SmartPSI 技术:对超光滑表面进行快速分析测量
• 2D 和 3D 的相关性:测量结果符合 ISO 25178 和 ISO 4287 标准。
• Mx 软件:实现仪器控制、分析和测量自动化
分析&控制软件
NewView 9000 轮廓仪使用 ZYGO Mx 软件,支持完整系统控制和数据分析,包括丰富的交互式 3D 绘图,量化的形貌信息,直观的测量导航以及内置的 SPC 统计,质量控制图,通过/失败限制设置。
•交互式 3D 绘图-缩放,平移,旋转,并实时更新结果。
•灵活分析——广泛的定量分析结果,包括数据视图和过滤器。
•直观的用户界面,易于学习和使用的流程界面设计。
内置 SPC 分析工具,跟踪结果,监控合格和不合格的标准,跟踪处理数据。
还有满足额外特殊应用需求的应用程序模块,如有透明薄膜的样品测量,2D 图像分析等。
灵活的配置
NewView 9000 轮廓仪的工作区域功能开放,界面条理清晰,使测量设置和改变简单&快速。系统可以配备多种样品平台,从完全手动 X/Y 和倾斜俯仰到 150 毫米完全自动化调整和 4 度倾斜。仪器的抗震隔离系统和紧凑的尺寸,使它非常适合于台式安装,使用可选的工作台使其成为生产线理想的选择。