产品概述：

MICRO-SC-120桌面式精密涂层制备系统，采用封闭式桌面型整体设计，结构紧凑。采用自主开发的精密薄膜制备技术，结合精密运动控制，可实现高性能薄膜制备。

产品特点：

（1）各工艺参数一体化控制，操作简便

（2）设备将操作控制集成一体化，整体结构紧凑

（3）单层薄膜厚度300nm-20μm

（4）薄膜均匀性优于10%

（5）材料粘附力强，优于4B

（6）可选配多种超声喷头

（7）精密三轴伺服运动，行程范围350mm×350mm

（8）精密激光对位系统，完成快速位置标定

（9）配置精密恒流供料系统以及微气流控制系统

（10）配置精密加热台，可实现在线吸附、在线烧结

（11）配置真空吸附台，可满足柔性基底使用需求

（12）适用溶液：纯单成分液体、纯溶液、带固体混合液

技术参数：

（1）雾化颗粒10-40μm

（2）适用溶液粘度：小于40cp；材料利用率：大于95%

（3）配有200万检测相机，可检测喷涂宽幅，自动优化其参数

（4）数字化超声驱动电源，频率实时跟踪反馈

（5）单通道精密恒流微量注射泵，提供精度0.001ml/min

（6）涂覆宽幅：2mm-100mm（选配喷头类型）

（7）最大涂覆速度：80mm/s；涂覆移动精度：±0.005mm

（8）X/Y/Z 三轴伺服控制系统；最大涂覆面积：400*400mm

（9）多轴旋转气缸，可实现水平和竖直喷涂切换

（10）精密加热平台，提供在线烧结，温度0-200℃可调（可选配0-500℃陶瓷烧结台）

（11）工业精密运动控制卡控制，显示器人机交互

（12）精密吸附定位，满足柔性基底制备需求

（13）设备体积：1200×950×1600mm

（14）设备重量：280kg

（15）接口需求：电源220VAC，50/60Hz；压缩空气：0.5MPa

（16）可根据客户需求添加其他功能(选配)

产品主要应用于新型薄膜太阳能电池开发、燃料电池、透明导电薄膜、MEMS光刻胶涂覆研究等领域。例如：纳米银线薄膜制备、薄膜制备、PEDOT：PSS、石墨烯涂层制备、钙钛矿涂层制备等。