产品概述：

MICRO-SC-200立式精密涂层制备系统，采用封闭式立型整体设计，结构紧凑。采用自主开发的精密薄膜制备技术，结合精密运动控制，实现高性能薄膜制备。

技术参数：

（1）雾化颗粒10-40μm

（2）适用溶液粘度：小于40cp；材料利用率：大于95%

（3）涂覆宽幅：2mm-100mm（选配喷头类型）

（4）数字化超声驱动电源，频率实时跟踪反馈

（5）单通道精密恒流微量注射泵，提供精度0.001ml/min

（6）X/Y/Z三轴伺服控制系统；最大涂覆面积：350mm×350mm

（7）最大涂覆速度：80mm/s；涂覆移动精度：±0.005mm

（8）精密加热平台，提供在线烧结，温度0-200℃可调（可选配0-500℃陶瓷烧结台）

（9）工业精密运动控制卡控制，全彩触摸屏人机交互

（10）精密吸附定位，满足柔性基底制备需求

（11）设备体积：800mm×650mm×4800mm  (不含配电柜尺寸)

（12）设备重量：120kg；压缩空气：0.5MPa

（13）接口需求：电源220VAC 50/60Hz  （*可根据客户需求添加其他功能(选配)）

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产品特点：

（1）各工艺参数一体化控制，操作简便

（2）配合视觉在线监控，可自动完成喷涂工艺提前及优化

（3）设备将操作控制集成一体化，整体结构紧凑

（4）单层薄膜厚度300nm-20μm

（5）薄膜均匀性优于10%

（6）材料粘附力强，优于4B

（7）可选配多种超声喷头

（8）精密三轴伺服运动，行程范围400mm×400mm

（9）根据需求，可完成水平及竖直方向喷涂

（10）自带喷涂腔体环境监控及优化功能

（11）精密激光对位系统，完成快速位置标定

（12）配置精密恒流供料系统以及微气流控制系统

（13）配置精密加热台，可实现在线吸附、在线烧结

（14）配置真空吸附台，可满足柔性基底使用需求​

应用领域：

产品主要应用于工业电子领域、柔性显示、新型太阳能光伏及特种玻璃行业的高性能薄膜的开发和制备。

​                                                                                                               【应用实例】