搭载荏原独有的节能技术，采用优化自动化工厂制造的模块设计，进一步小型化·实现了节能化，适用于中负载工艺的干式真空泵。
通过宽范围温度控制扩大应用工艺。

通过在同一机型中整合多个流程，可以减少备用设备库存优化、维护和培训，并灵活应对未来的流程扩展。

此外，通过针对每个工艺的佳温度控制，实现工艺耐久性的提高，通过延长零件的更换周期，有助于减少TCoO。

特长

通过宽范围温度控制实现广泛的工艺覆盖范围节能·节省空间
对应腐蚀性气体(标准采用耐腐蚀材料)

对应应用示例:各种蚀刻和CVD、灰化、离子注入、外延生长等

CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉
NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山


USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野
IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣
HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基
SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等
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