负载锁定室

·以SEM等轻负载用途到腐蚀性工艺的广泛应用为对象，具有排气速度可变功能

·保持通信功能等附加价值不变，节约能源

·节省空间

·进一步追求轻量化的独立安装对应用根干式泵。

特点：

业界高水平的节能

·节省空间

·实现轻量化耐腐蚀性材料模型

·可选择N擦除模型与频率(50/60HZ)无关，性能相同通过强大的传感功能缩短停机时间

CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克
SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉
NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山


USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、
SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC
S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学
AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野
IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣
HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基
SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤
RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等