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反射式膜厚监测仪是一种采用光学干涉测量法的反射分光膜厚计,使用小型反射探头,可应用于从实验室水平到生产过程中在线100%检查的所有情况。它具有出色的可维护性,可以集成到工艺设备中或用于生产线管理目的。
最多可同时测量 9 种透明薄膜。
它具有出色的可维护性,可以集成到工艺设备中或用于生产线管理目的。
例如,它可以用作成膜、抛光和蚀刻过程中的在线监控器或终点监控器(终点检测传感器),并可以实时监控膜厚。它
还可用于评价多晶硅的结晶度和多孔薄膜的密度。
推荐环境条件
温度 | :设定点在18至45℃范围内 |
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长期变化 | :±2.0℃/24小时以上(标准设定点) |
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短期变化 | :±1.0℃/1小时x 1周期(参考设定点) |
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湿度 | :45%±20%(无凝露) |
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