立式双腔旋转甩干机

用途：立式双腔旋转甩干机主要用于硅圆片、掩模板、太阳能电池等类似材料的冲洗甩干，也可用于蓝宝石硅片和触摸屏玻璃基板，是半导体湿法清洗工艺中必不可少的主要设备之一。

 主要结构特征及工艺流程

 结构特征

甩干机主要由主轴传动部分，片盒夹具，工作外腔，机架罩壳，加热部分，洁净管路部分，电气控制等组成。

 材质：不锈钢机架+10mm PP板。

设备机架：SUS304不锈钢材料，能够满足洁净室工作环境。

排风系统：间接式抽风设计，有效稳定空气扰流。

地脚：有高度调整和锁定功能。

工作过程中，清洗工作腔与外界密封隔离。

 腔体和载体采用耐腐蚀316L不锈钢并电化学抛光。腔体门盖采用专用密封圈，用充气方式进行密封。片架载体可方便更换。

腔体与轴采用无接触氮气密封。