OTSUKA大塚电子 Smart膜厚仪SM-110PO 日本原装
OTSUKA大塚电子 Smart膜厚仪SM-110PO 日本原装
品牌型号与产品概述
OTSUKA 大塚电子源自日本,深耕光学分光检测技术领域多年,SM-110PO 属于 Smart 膜厚仪系列 Pro 版本,是面向现场快速检测场景打造的原装手持膜厚设备。这款仪器将分光干涉检测光路、触控显示单元、数据解析模块集成在手持机身内,打破传统台式膜厚仪必须在实验室固定点位检测的限制,检测人员可直接携带设备进入产线、无尘车间、成型工位开展检测。仪器支持单层与最多三层薄膜结构解析,适配硅基底、玻璃、高分子基材表面的透明涂层样品,对于无法裁切、不便移动的异形成型工件同样可以完成无损检测,为生产巡检、来料抽检、现场工艺验证提供灵活便捷的薄膜厚度检测方案。
规格参数详情
SM-110PO 采用反射分光干涉法作为检测原理,光谱检测波段 400nm~1000nm。单层膜测量范围 0.1μm~100μm,多层膜测量范围 1μm~100μm(折射率 1.6 条件下),最多支持三层薄膜同步解析,测量光斑直径在 Φ1mm 以内。单点测量耗时控制在 1 秒以内,针对 1μm 二氧化硅膜样,重复性指标 2.1σ 可达 0.01μm。整机外形尺寸 138 (W)×198 (D)×54 (H) mm,重量约 1.1kg,内置锂电池,可持续工作 4 小时以上。设备自带触控显示屏,检测结果实时显示,检测数据可通过 U 盘导出 CSV 格式文件,供电模式兼顾锂电便携与外接供电,适配不同现场环境,无需配套电脑主机即可独立完成整套检测流程。
核心功能特点
这款膜厚仪采用非接触、非破坏式光学检测方式,检测过程不会划伤样品表面,成品样品检测之后可以继续流转至后续工序,不会造成样品损耗。设备无需提前制作检量线,开机设定材料折射率后就可以直接获取厚度绝对值,降低前期样品标定工作量。支持三层多层膜结构解析,面对复合涂层样品,能够分别输出各层薄膜厚度数值,同时可查看反射光谱信息,辅助工艺人员判断膜层状态。手持一体化设计操作门槛低,界面简洁直观,操作人员经过简单培训就可以独立完成测量,适配产线巡检人员高频次、多点位抽检需求。针对曲面、异形结构工件也可以灵活调整探头角度完成采样,拓展常规台式设备难以覆盖的样品形态。
适用领域用途
SM-110PO 适配多个行业透明涂层、薄膜样品的现场检测工作。在半导体封装领域,用于各类保护涂层、脱模剂涂层、钝化薄膜的现场抽检,评估涂布工艺均匀性;在光学行业,用于光学镜片增透膜、各类功能镀膜的厚度巡检;在显示行业,适配光学膜片表面功能涂层的现场品质核查;在新材料行业,用于高分子基材、板材表面防水、防湿涂层的厚度评价。同时也适合高校、科研院所外出取样、现场试样评价工作,对于大件成型工件、连续涂布产线的在线抽检场景十分友好,可快速反馈工艺波动,辅助产线人员及时调整涂布参数。




