OTSUKA大塚电子 在线评估测试系统MCPD-9800 日本原装

OTSUKA大塚电子 在线评估测试系统MCPD-9800 日本原装

品牌型号与产品概述

OTSUKA 大塚电子源自日本，在多通道分光光谱技术领域拥有深厚积累，MCPD-9800 是面向产线在线集成、多场景光学评价开发的分光检测主机单元，整机原装出品。该系统属于模块化光谱检测核心，依靠光纤探头分离布置的优势，主机放置在机柜内，探头伸入产线狭小空间，不占用制程主设备空间。不同于成品台式膜厚仪、相位差仪，它是光谱检测核心单元，搭配不同解析软件与探头配件，可切换膜厚检测、色度评价、光源光谱、透过反射率、相位差等多种测试功能，是大塚多款在线光学检测设备的核心分光引擎，兼顾产线连续监测与实验室灵活搭建测试光路。

规格参数详情

MCPD-9800 拥有多款波段子模块，波长覆盖 220nm~1600nm 区间：2285C（220~850nm）、3095C（300~950nm）、3683C（360~830nm）、311C（360~1100nm）、916C（900~1600nm）。膜厚解析范围 65nm~92μm（随波段型号变化），光谱采集时间 5ms~20s 可调；检测器采用电子冷却型 CCD 或 InGaAs 线性图像传感器，杂散光控制优异。标配石英光纤探头，光纤标准长度 2m。通讯接口同时搭载 USB 与 LAN，支持远程程控对接 PLC、上位机。整机外形尺寸 105 (W)×230 (H)×280 (D) mm，重量约 6.2kg，供电 AC100-240V，功耗 125VA，可输出原始光谱、反射率、透过率、色度、膜厚数据。

核心功能特点

这套系统最大特色是光纤分体架构，检测探头与光谱主机分离，适配镀膜、涂布、研磨、曝光等各类产线设备内部集成，安装灵活。多波段丰富模块可选，紫外版本适合紫外敏感薄膜、光刻相关检测，近红外版本适配厚膜、树脂基材检测。电子冷却检测器降低暗电流噪声，弱信号样品同样具备良好信噪比，杂散光抑制能力优于前代机型。高速采集能力满足产线走带、高速工序同步采样需求，可长时间不间断连续采集。功能高度模块化，同一主机更换解析程序就能切换测试项目，不用更换硬件。标准 LAN 远程通讯协议，方便接入自动化产线控制系统，实现阈值判定、信号输出、数据上传，满足工厂制程闭环管控需求。

适用领域用途

MCPD-9800 广泛适配半导体、光学薄膜、显示、光源行业在线光学评价。半导体领域，用于晶圆薄膜在线膜厚、反射光谱监测；光学行业，用于增透膜、滤光片、光学板材涂布制程透过反射监控；显示行业，用于光学膜片、偏光组件色度与光谱在线抽检；照明行业可用于各类光源发光光谱、色度亮度在线检测。同时可搭配偏振配件组成相位差在线监测系统，高校科研平台也可使用该主机搭建定制化分光测试光路，开发各类光学实验方案。