OTSUKA大塚电子 嵌入式膜厚测试型MCPD-9800 日本原装

OTSUKA大塚电子 嵌入式膜厚测试型MCPD-9800 日本原装

品牌型号与产品概述

OTSUKA 大塚电子源自日本，在多通道分光在线检测领域积累深厚，MCPD-9800 嵌入式膜厚测试型是基于旗舰光谱主机衍生的产线集成膜厚方案，整机原装出品。该机型区别于台式独立膜厚仪，主打嵌入式配套，不单独作为台式单机使用，可整合进涂布机、研磨设备、卷对卷薄膜产线、晶圆处理设备内部。依靠光纤探头远距离采集光谱信号，搭配专用膜厚解析软件，自动拟合光谱干涉信号输出厚度数值，同时保留原始光谱记录，兼顾高速在线判定与数据追溯，是自动化产线膜厚闭环管控的核心检测模块。

规格参数详情

MCPD-9800 嵌入式膜厚型拥有多款可更换波段子模块：2285C（220~850nm）、3095C（300~950nm）、3683C（360~830nm）、311C（360~1100nm）、916C（900~1600nm）。膜厚测量范围 65nm~92μm（按波段区分，n=1.5 换算），最短采集时间 5ms，检测器采用电子冷却 CCD 或 InGaAs 传感器，杂散光控制为前代机型的 1/5。标配加扰光纤，标准长度 2m，可按需延长；通讯接口支持 USB、LAN 远程程控，对接 PLC、上位机。整机外形尺寸 105 (W)×230 (H)×280 (D) mm，重量约 6.2kg，供电 AC100-240V，功耗 125VA，输出数据包含膜厚值、反射光谱、反射率、判定结果。

核心功能特点

嵌入式紧凑机身是这款机型的核心优势，立式小巧结构便于安装在设备机柜狭小空间，光纤探头灵活布置在产线检测工位，不受主机位置限制。低杂散光与电子冷却检测器，紫外波段超薄薄膜、弱信号样品同样稳定可靠，HDR 宽动态范围兼顾高反射基材与弱反射涂层。内置专用膜厚拟合算法，支持单层、多层膜以及湿膜、空气间隙层解析，可设置上下限阈值，自动输出 OK/NG 判定信号对接产线。高速采集能力匹配卷膜走带、高速涂布工况，长时间连续运行稳定性强，维护简单。同一主机更换解析程序，还可拓展光谱、色度检测能力，提升设备复用性。

适用领域用途

MCPD-9800 嵌入式膜厚测试型多用于自动化产线内置膜厚监控。半导体行业用于晶圆氧化膜、氮化膜、光刻胶涂布制程在线膜厚监测；光学行业用于增透膜、硬质涂层、滤光片镀膜涂布监控；显示行业用于光学功能膜、偏光保护膜的卷对卷涂布在线检测；新材料行业用于防水涂层、阻隔膜、各类树脂涂层制程管控。也可集成在实验自动化设备内部，搭建自动化试样膜厚测试平台，适合需要把检测单元嵌入自有设备的集成项目。