单晶生长氩气净化器真空炉退火氩气净化机工作原理:
本装置利用高效脱氧剂、高效吸附剂和高效过滤器除去氩气中的杂质氧、水汽和尘埃等。本装置采用复式流程,一组工作,同时另一组再生、待用。两组交替使用,设备可以长期连续运行。
二、主要技术指标:
6.除氧器再生温度: 250℃
7.干燥器工作温度: 常温
8.除氧器和干燥器工作周期: 72小时
9.干燥器再生温度: 300℃
10.除氧器和干燥器再生加热时间: 8小时
气体纯化装置采用分子筛吸附剂进行变温吸附,纯化干燥气体。可与本厂液氨制氢炉配套使用,也可用于氢、氮、氧和压缩空气等钢瓶气体的深度干燥
复式流程,用两只吸附干燥器并联,一只工作,同时另一只可以进行再生处理。相互交替工作和再生,以保证连续运行。干燥器在常温下工作在加温至350℃下冲气再生。
原料分解气体通过入口阀V9经阀V1进入干燥器I,利用分子筛对NH3和H2O的共吸附可以同时除去残氨和水份,然后气体经阀V7和过滤器,再经阀V10由纯气出口送使用点。
与此同时在过滤器后,取一部分纯气通过阀V12和再生流量计,再经阀V6送入干燥器Ⅱ,进行加热冲洗再生,再生废气经V4后通过气水分离器后放空。再生后打开排污阀V11排出水分。
单晶生长氩气净化器真空炉退火氩气净化机处理氩气量: 100m3/h
2.工作压力: ≤0.8MPa
3.原料氩气纯度: >99.99% 其中O2≤3ppm
4.纯 氩: 含氧量≤1ppm 露点≤1ppm
5.除氧器工作温度: 常温
单晶生长氩气净化器真空炉退火氩气净化机.装机功率: 10KW
12.电 源: 380V 50HZ
13.设备重量: 约750Kg