氩气是大规模工业生产单晶硅的保护气，它的要求之高，是控制经营成本必须重视的一个重要方面。将排出含有杂质的氩气，除去固体杂质，经缓冲罐进入氩气压缩机升压,，经氩气纯化设备。采用非蒸散型锆铝16吸气剂为净化剂，在一定温度下，吸气剂可于氩气中的O2、N2
杂质 | N2 | O2 | CO2 | CH4 | 露点 |
含量ppm | <100 | ≤15 | <5 | <5 | -50℃ |
处理气量：1-300m3/h
工作压力0.2-0.8MPa
纯氩纯度：
、H2、CO、CO2、CH4等等形成稳定的化合物或固溶体，从而达到对氩气精制的目的。最后将净化后的氩气送入使用地点.二、设备构成：1 过滤器 2 压缩机3 氩气纯化6 电气控制箱三、技术保障措施； 1组合式过滤工艺，分级处理。 2氩气纯化采用特殊结构和装料方法，流速设计合理，气流分布均匀。 3氩气纯化采用特殊设计的加热构造，加热均匀、稳定。 4采用优质管件，阀门，避免管道和阀门影响气体质量。 5采用优质的电器元件和控制仪表，保证温度稳定，减少温度和影响。 6氩气纯化的活化程序，严格按照活化程序执行，根据现场实际情况适当调整。 7对用户的操作员进行设备操作培训，了解设备工作原理，掌握设备操作方法，熟悉设备的开车、停车、停电、停水处理方法。
YA-c型氩气纯化装置
工作原理
YA-c型高纯氩气纯化装置采用非蒸散型锆铝16吸气剂为净化剂，在一定的温度下，吸气剂可与氩气中的微量杂质O2、N2、H2、H2O、CO、CO2、CH4等等形成稳定的化合物或固溶体，从而达到对氩气精制的目的。
主要技术指标
杂质要求：
杂质 | N2 | O2 | CO2 | CH4 | 露点 |
含量ppm | ≤0.2 | ≤0.2 | ≤0.5 | ≤0.5 | -70℃ |
含尘量 | ≤3.5颗/升（对于粒径≥0.5μm尘埃） |
3.净化剂寿命：每炉可处理99.99%的氩气2500-3750m3
4.操作温度：700-740℃
5.外形尺寸：宽550*深650*高1500mm
6.电源：-50H 220V
7.功耗：.2Kw
8.重量：≈220Kg
