机型特点 可进行曲线及直线图形切割,性能稳定可靠等优点。 适用材料和行业应用* 主要用于金属材料及硅、锗、砷化镓和其他半导体衬底材料的划片和切割,可加工
太阳能电池板、硅片、陶瓷片、铝箔片等。
* 一体化结构,占地面积小,光束质量好,软件功能强,整机运行稳定可靠,操作简
单,切割效率高,适合大批量加工。 技术参数* 激光工作介质 : Nd:YAG* 激光波长:1.064μm* 激光功率:100W(灯泵浦)* 激光功率不稳定度: ≤3%* 调制频率: 500Hz-50KHz* 出光方式: 连续激光调Q* 切割速度:15-100mm/s(视材料而定)* 重复精度: 0.002mm* 切割范围: 180mmX180mm* 最大切割深度:1.5mm(单晶硅)* 切割线宽:0.02-0.2mm(视材料可调)* X、Y工作台行程:200mmX200mm* 供电电源:AC380V±10%,50Hz* 输入功率:≤5KW* 冷却系统:制冷机组* 内循环介质:去离子水,蒸馏水或纯净水* 安全性:过流保护、过温保护、过压保护* 激光器连续工作时间:≤16H* 重量:240Kg* 外型尺寸:900mmX1300mmX1400mm