英国Thermco Systems公司成立于1962年，是世界上最著名的卧式扩散、氧化及LPCVD炉的制造商，在全球各处的半导体制造厂里都有大量的安装应用，迄今为止安装记录已超过20000管。根据基片尺寸以及产量要求的不同，HTR系列可分为6200，5100/5200，4500/4900，2400/2600等；可处理4"~10"的基片，每管处理能力分别可达25片、50片或100片；根据配置不同的工艺气源及温度控制范围，各型号的产品均可用于LPCVD、扩散及氧化等热处理反应工艺。产品的典型应用：· 氮化硅 Silicon Nitride
· 多晶硅 Ramped temperature poly
· 多晶硅 Uniform grain poly ( flat temp)
· TEOS
· VLTO
· BPSG
· 氧化 High temperature oxide (with or without external torch)
· 掺杂扩散 3 or 4 loop liquid dopant ( POCL3 or BBR3)· 5 or 6 loop pyro with DCE (TCA) or HCL
· 2 loop forming gas anneal
· High temp high flow anneal
· Low temp anneals or cure