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英国Edwards EXT系列分子泵
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北京创世杰科技发展有限公司
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英国Edwards/EXT系列
英国爱德华公司是全球最先进的洁净高真空获得技术的。它的EXT系列分子泵采用复合轴承设计:高真空端使用永磁轴承,低真空端采用高质量的氮化硅陶瓷球轴承,先进的转子设计使得其具有优异的极限真空、极高的轻气体压缩比以及能容忍较高的前级压力。主要应用范围有:
1.半导体制造:磁控溅射热蒸发镀膜电子束蒸发镀膜光刻胶去除晶圆检查真空锁2. 科学研究:科学仪器:表面分析、质谱、电子显微技术高能物理:粒子束、加速器放射性研究:核能、回旋加速器
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