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英国Edwards 磁悬浮分子泵真空泵
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北京创世杰科技发展有限公司
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英国Edwards/STP系列
英国爱德华兹公司(原名BOC Edwards)是全球最先进的洁净高真空获得技术的。STP系列分子泵则采用最先进的五轴平衡式磁悬浮轴承技术,完全无油污染,极低振动,耐化学腐蚀,很高的抽气能力,极高可靠性,使用寿命长,正常使用条件下无需维护。主要应用范围有,1.半导体制造:等离子体刻蚀CVD薄膜沉积磁控溅射离子注入分子束外延 扩散光刻胶去除晶体/外延生长 晶圆检查真空锁2. 科学研究:科学仪器:表面分析、质谱、电子显微技术高能物理:粒子束、加速器放射性研究:核能、回旋加速器
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