自1970年Aerotech开始研制最高性能的运动控制产品和精密定位系统，这些产品广泛应用于世界范围内的工业制造、及自然科学研究等行业。Aerotech能够为生命科学及医学设备，半导体加工，光子学，数据存储，激光应用，航空和国防，电子产品制造、测试及装配等行业的研究和发展，以及其他需要高精度、高自动化水平的解决方案提供满足市场应用苛刻要求的高性能精密运动控制产品。Aerotech承诺始终如一的提高我们的产品性能和服务能力的附加价值，我们的座右铭是：Dedicated to the Science of Motion。ABL1000气浮平台1 专为高性能校准和装配应用设计
2 分辨率达2nm的直线编码器反馈
3 闭环分辨率可达1nm(使用A3200控制器)
4 全预加负载气浮导轨(空气轴承)
5 低噪音线性放大器
6 全部非接触设计
行程 ≤150 mm
精度 ±0.20 um
重复定位精度 ±0.05 um
直线度 ±0.25 um
平面度 ±0.25 umABL1500直线电机平台1 专为高性能扫描和检测应用设计
2 分辨率达到nm以下的直线编码器反馈
3 全预加负载气浮导轨(空气轴承)
4 大负载 高刚性 几何特性极好
行程 ≤500 mm
精度 ±0.20 um
重复定位精度 ±0.10 um
直线度 ±0.25 um
平面度 ±0.25 umABL2000气浮平台1 专为晶片成像/缺陷探测/涂覆应用设计
2 运动超平滑,速度稳定性突出
3 直线编码器或激光干涉仪反馈
4 行程达1.2米
5 全预加负载气浮导轨(空气轴承)
6 全部非接触设计
行程 ≤1200 mm
精度 ±0.50 um
重复定位精度 ±0.20 um
直线度 ±0.25 um
平面度 ±0.25 umABL3600气浮平台1 专为扫描显微镜/掩模/晶片检测独特应用设计
2 双轴,大孔,开放式结构
3 非接触直线编码器反馈,精度高
4 双直线电机驱动X Y 轴
5 所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
行程 ≤250 mm
精度 ±1 um
重复定位精度 ±0.20 um
直线度 ±0.50 um
平面度 ±1 umABL8000气浮平台1 专为有效负载大,负载重心偏离机架中心线的应用设计
2 十字交叉结构,刚性稳定性引人注目,几何特性极好
3 所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
4 行程达1米
5 直线编码器或激光干涉仪反馈
6 可集成包括花岗岩的XY子系统
行程 ≤1000 mm
精度 ±0.50 um
重复定位精度 ±0.20 um
直线度 ±0.40 um
平面度 ±0.40 umABL9000气浮平台1 世上最高性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合
2 所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
3 行程达1.2米X1.2米
4 Y轴双直线电机驱动
5 直线编码器或激光干涉仪反馈
6 主动控制偏转
行程 ≤1200 mm
精度 ±0.50 um
重复定位精度 ±0.10 um
直线度 ±0.50 um
平面度 ±0.50 umAHL9000直线电机平台1 专为晶片检测，平板显示加工和光学检测及制造应用设计
2 扫描轴是空气轴承，步进轴是机械轴承
3 行程达1.2米X1.2米
4 双直线电机驱动步进轴
5 直线编码器或激光干涉仪反馈
行程 ≤350 mm
精度 ±1.0 um
重复定位精度 ±0.20 um
直线度 ±0.60 um
平面度 ±0.60 umABG10000气浮平台1 气浮导轨实现超平滑运动
2 所有轴都预加载荷
3 下面轴采用双无刷直线伺服电机驱动
3 行程达1 m x 1 m
4 非接触直线编码器(光栅)
5 可选Z 轴,隔振,机械底座和控制箱
6 适用于高速拾取/放置