产品用途：
该机主要用于硅片、硬盘基片、光盘母盘、陶瓷片及其它硬脆材料的双面高精度研磨。主要特点：
1.
采用伺服电机同步拖动，变速范围更广，运动精度高，响应速度快。
2.
采用触摸式平板电脑、嵌入式计算机控制，为用户提供开放式的图形操控界面；并设有四级密码保护（管理人员、维护人员、工艺人员、普通操作），方便了各层次人员的操作使用；具有接入以太网、远程调试、双机通讯等先进功能（可扩展）；可根据用户要求编制控制软件和操作界面。
3.
采用模块化设计理念：主传动在基本结构零件不变的前提下，可灵活的选配双电机、三电机、四电机；可灵活的选配普通异步电机、交流异步伺服电机（德国SEW）；副减速箱（太阳轮、齿圈）可灵活的选配国产或进口件。
4.
太阳轮与内齿圈大行程(80mm)同步抬升，满足了宽范围取放工件及调整游轮啮合位置的要求。
5.
压力采用电—气比例阀与拉力传感器闭环反馈控制， 压力过程实现了线性转换，压力控制精度±2kg。
6.
工艺适应性：²
拥有20套可编辑工艺,每套工艺可执行20步；²
液泵（两路）、水泵状态在每步工艺中可编辑；²
各电机运行速度及旋向在工艺中可单独编辑；²
电机加速时间在每步工艺中可编辑；²
目标压力在每步工艺中可编辑；²
加压斜率在每步工艺中可编辑；²
在每步工艺中可设置两个自定义外设状态；7.
可安装可行走式地脚，方便了设备搬移（选配）。主要技术参数：
1.
研磨盘尺寸： φ1118 mm×φ386 mm×60 mm（研磨标配，可自定）2.
游轮参数：公制：Z＝142 M＝3
α＝20°英制：Z＝200 DP＝12
α＝20°3.
游轮数量：
5片4.
最大研磨直径：
φ350 mm最小研磨厚度：
0.30mm5.
下研磨盘转速:
0～60rpm6.
上盘电机（选配）:7.5kW 4极 AC380V7.
下盘电机:
15kW
4极 AC380V8.
太阳轮电机：
1.5kW
4极 AC380V9.
齿圈电机：
4kW
4极 AC380V10.
气源：
0.5—0.6Mpa11.
外形尺寸（长× 宽 × 高）：2324mm×1524mm×2995mm12.
重量：
约8000Kg