产品用途：
     该机主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体、光电玻璃及其他硬脆材料的双面高精度抛光。
主要特点：
1. 采用三个伺服电机同步拖动，变速范围更广，运动精度更高，响应速度更快，能适应不同抛光材料及抛光工艺的要求，实现了软启动、软停止，调速稳定，冲击小；
2. 太阳轮与内齿圈同步抬升，满足了取放工件及调整游轮啮合位置的要求；
3. 下抛盘主轴采用交叉滚子轴承支撑，既可承受轴向力、径向力，又可克服倾覆力矩，保证了下抛盘的静态和动态的精度；
4. 上下抛光盘采用斜齿轮传动，运转平稳；
5. 可灵活的选配双电机、三电机、四电机（标配）拖动；
6. 压力采用电—气比例阀与拉力传感器闭环反馈控制，最小加压2kgf压力过程实现了线性转换，压力控制精度±2kgf；
7. 采用集中润滑装置，各相对运动表面、齿轮啮合部位都可得到充分润滑，大大提高了整机的使用寿命；
8. 上盘采用最新的“浮动”连接装置，解决了错盘问题；9．该机具有防粘片装置，特殊的水路设计即可用来冲片防止粘盘，又可通冷却水用来冷却抛盘；10.该机可存储20套工艺参数,每套工艺可设20步工序，以方便多种产品规格的切换加工使用；11．结合伺服电机拖动，实现了游星轮自动定位复位。
技术参数：
1. 抛光盘尺寸：  公制φ1313 mm× φ757 mm×50mm
2. 游轮参数：公制：齿数Z=100   模数：M=3  英制：齿数Z＝144      模数DP12
3. 游轮数量：          10片
4. 最小抛光厚度：     0.30mm
5. 最大抛光厚度：     30 mm
6. 下抛光盘转速:        0～60rpm
7. 上/下抛光盘驱动电机：     7.5/15kW   AC380V   1460rpm
8. 齿圈驱动电机               4 kW    AC380V   1420rpm
9. 太阳轮驱动电机：         2.2kW   AC380V   1410rpm
10. 气源：             0.5～0.6MPa
11. 外形尺寸（长× 宽 × 高）：2328mm× 1608mm × 3190mm
12. 重量：             约8000Kg
精度指标：
一、主机精度：
1. 下抛光盘端跳: