产品用途：
本机主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体、玻璃及其它硬脆材料的双面抛光。本机从设备的结构、精度、功能、可靠性、工艺性等方面进行优化设计，性能优良，完全能满足用户的使用要求。主要特点：
1.
本机采用龙门式结构，外型美观大方，提高了整机刚度。
2.
整机的运行采用单电机拖动，通过减速机后由四组不同速比的齿轮给上抛光盘、下抛光盘、齿圈、中心轮提供不同的速度，使四种速度达到最佳的配比，满足工艺的要求，其中中心轮相对与其它三个转速的速比可调（两级），使游轮自转可实现正转、反转，满足了不同抛光（修盘）工艺的需求。
3.
本机为下抛光盘升降方式、下抛光盘的高低位置可在总行程范围内随意停留自锁，以满足改变游轮啮合高低位置的需要。
4.
本机继承其它抛光机压力控制的成功经验：采用四段压力，即轻压、中压、重压、修研（轻压）的运行过程。
5.
本机采用PLC、四行文本显示器，变频调速，电机速度由外设电位器手动随时调节；速度由预设的四段速度因运行时间而自动改变，四段速度的运行时间与四段压力时间相对应。设备留有工件测厚装置接口。
6.
接液盆、护圈的设计采用半露式结构，保证了设备工作时不会漏砂，并且便于用户对设备进行清理。
7.
抛光速度的匹配，符合国际上通用的抛光机理，此速度匹配已被普遍认可。主要技术参数：
1.
抛光盘尺寸： φ1155mm× φ349mm×50mm2.
游轮参数：
英制：Z＝200 DP12α＝20°
公制： Z＝142 M＝3
α＝20°3.
游轮数量：
5片4.
最小抛光厚度：
0.50mm/φ125mm，0.40mm/φ100mm，0.35mm/φ75mm5.
最大抛光厚度：
30mm6.
最大抛光直径：
φ350 mm7.
下抛光盘转速:
0～60rpm8.
主电机：
15kW
380V
1460rpm9.
三相电泵
1/4HP
380V10.
外形尺寸（长×宽×高）：2000mm×1550mm×2668mm11.
质量：约6000kg主机精度：
1.
下研盘端面跳动：
0.08mm2.
上、下抛光盘平面度：
0.030mm（只检查下盘）3.
太阳轮径向跳动：
0.12mm4.
齿圈径向跳动：
0.20mm加工能力：
1.单片承片量：17片/Φ75mm
8片/Φ100mm
5片/Φ125mm2.整盘承片量：85片/Φ75mm
40片/Φ100mm
25片/Φ125mm