仪器型号 TMG-3020CNC TMG-4030CNC TMG-5030CNC 工作台 金属台面尺寸(mm) 506×356 606×466 700×450 玻璃台面尺寸(mm) 350×280 450×350 550×350 运动行程(mm) 300×200 400×300 500×300 仪器重量(kg) 140 240 290 外形尺寸(长X宽X高) (mm) 770×590×1100 950×700×1100 970×670×940 镜头 日本SONY CCD X、Y、Z数显解析度 1μm X、Y坐标示值误差 ≤(3 L/200)μm 电机 伺服电机： 日本 三轴运动速度： 100mm/s 三轴定位精度： 0.001mm 电源 AC110V/220V 消耗功率 <100W（不包括电脑）