性能特点：
1. 花岗石底座，机构永不变形。
2. X、Y、Z轴装有光栅尺，定位。
3. 双焦物镜倍率(美国NAVITAR)：
0.7~4.5X
4. LED冷光源（表面光和轮廓光）避免工件受热变形。
5. MCINS手动版软件。MODELTMGVMS-1510FTMGVMS-2010FTMGVMS-2515FTMGVMS-3020FTMGVMS-4030FTMGVMS-5030F(X/Y/Z轴)量测行程(mm)150*100*175200*100*175250*150*175300*200*175400*300*175500*300*175外形尺寸540x560x850540x560x850760x600x900760x600x900970x670x940970x770x940机台底座材料高精度花岗石照明系统表面光源与透射光源均用LED，亮度可调CCD高解析度日本索尼彩色CCDX,Y轴量测精度（3 L/200）um放大倍率Step Zoom光学放大率：
0.7--4.5X，影像放大率：28--180X光学尺解析度1 um重复性2 um