仪器型号TMG-3020CNCTMG-4030CNCTMG-5030CNC工作台金属台面尺寸(mm)506×356606×466700×450玻璃台面尺寸(mm)350×280450×350550×350运动行程(mm)300×200400×300500×300仪器重量(kg)140240290外形尺寸(长X宽X高) (mm)770×590×1100950×700×1100970×670×940镜头日本SONY CCDX、Y、Z数显解析度1μmX、Y坐标示值误差≤(3 L/200)μm电机伺服电机：日本三轴运动速度：100mm/s三轴定位精度：
0.001mm电源AC110V/220V消耗功率<100W（不包括电脑）