产品用途：本机主要用于铌酸锂片、硅片、锗片、砷化镓、磷化镓、玻璃、陶瓷等片状材料的单面抛光。主要特点：1．
设备有三个抛光头，每个抛光头与粘片盘以三个锥销轴方式定位，开启主机对工件单面抛光时，粘片盘随主盘不断转动，达到单面抛光的目的。2．
设备三个抛光头均能单独完成上升、下降，拔出定位键可绕各自固定立柱回转，转离工作位置，便于取、放粘片盘。该机可进行单头抛光、双头抛光和三头抛光多种工作状态。3．
抛光头在其固定臂的径向位置可以随意调节，使抛光头中心与下抛光盘中心的距离各不相同，以保证下抛光盘修整轨迹更合理，提高了抛光布寿命及修平精度。4．
电器系统采用PLC控制，安装有远红外线测温仪，对下抛光盘进行温度监控，提高了整几可靠性、安全性。操纵面板上安装有主机、液泵开停按钮、主机调速按钮、抛光头升、降、缓降按钮，以方便操作。抛光时间设定了时间继电器和压力调节显示表等操纵件，其均位于显示面板上，完成相应操作功能。5．
三个抛光头分别用相同粘片盘单面抛光，可与61 830-1型单面减薄机配套使用。6．
调速方式采用变频调速，调速平稳，低速性能好。主要技术参数：
1.
抛光盘直径（外径）： Φ830mm2.
粘片盘直径（外径×厚度）： Φ350mm×20mm3.
抛光盘端面跳动量：
≤0.06mm4.
抛光盘平面度：
≤0.025mm5.
主电机：
7.5kW 380V 1450rpm 6.
最小抛光厚度：
0.20mm7.
最大抛光件规格：
Φ200mm8.
抛光件表面平面度：
0.001mm（Φ75mm）9.
加工件厚度一致性：
±0.004mm（Φ75mm）10.
单头承片量：
8片/3"
6片/4"
4片/5" 整盘承片量：
32片/3"
24片/4"
16片/5"11.
外形尺寸（长×宽×高）： 1900mm×1500mm×1600mm12.
质量：
约1600kg