产品用途：
     该机主要用于硅片、砷化镓片、陶瓷片、石英晶体、光电玻璃及其他硬脆材料,以及计算机硬盘母盘的双面高精度抛光。
  主要特点及优点：
1. 采用多电机拖动，变速范围更广，能适应不同抛光材料及抛光工艺的要求，实现了软启动、软停止，调速稳定，冲击小；
2. 太阳轮与内齿圈同步抬升，满足了取放工件及调整游轮啮合位置的要求；
3. 下抛盘主轴采用交叉滚子轴承支撑，既可承受轴向力、径向力，又可克服倾覆力矩，保证了下抛盘的静态和动态的精度；
4. 上下抛光盘采用斜齿轮传动，运转平稳；
5. 压力采用电—气比例阀与拉力传感器闭环反馈控制，最小加压2kgf 压力过程实现了线性转换，压力控制精度±2kgf；
6. 采用集中润滑装置，各相对运动表面、齿轮啮合部位都可得到充分润滑，大大提高了整机的使用寿命；
7. 上盘采用最新的“浮动”连接装置，解决了错盘问题；

8．该机具有防粘片功能，通过特殊的程序控制，防止工件粘于上盘上（选配）；

9该机可存储20套工艺参数,每套工艺可设20步工序，以方便多种产品规格的加工使用；

技术参数：
1、抛盘（mm）： 抛盘φ1165×φ359×50材质：SUS304                

2、游轮参数：        英制：齿数Z＝200 DP＝12α=20°                    

3、游轮数量：         5片

4、最小加工厚度：     0.30mm

5、最大加工厚度：    30mm

6、加工直径及片数   φ75/85片φ100/40片φ125/25片

7、理想加工直径：    φ150/20片

8、最大加工直径：    φ350 mm`

9、转速：            下抛光盘转速:       0～60rpm

                    太阳轮转速:         0～40rpm

                    齿圈转速:           0～40rpm

10、下盘电机：      380 V 50Hz 15KW

11、齿圈电机：      380 V 50Hz 4KW

12、太阳轮电机：     380 V 50Hz 1.5KW

13、外形尺寸（长×宽×高）：2269mm×1495mm×2931mm

14、重量：            约7500kg