超微少の流量制御が可能です。 0.5ML/MIN~3ML/MINの超微少流量から3~30L/MINの流量まで幅広いレンジに対応できます。
●
精密ニードルバルブ使用。 最大流量と常用供給圧力の御指定により、ニードルバルブの有効回転数を最大限に生かせます。(微妙な流量コントロールが可能)
●
豊富なバリエーション。 流量計の全長は126,156,206,256mmの4種類が用意されており、用途に応じて選択できます。
●
下部・上部2タイプのバルブ。 下部ニードルバルブタイプ、上部ニードルバルブタイプの2つのタイプがあります。用途に合わせて御使用下さい。
●
水用にも使用可能。 流量1L/MIN以下での水用の流量計も製作します。
●
特殊仕様目盛対応。 両目盛・ワンポイント目盛・サシ目盛等の特殊目盛にも対応します。(別途相談)
用途
●機器組込用に。
●半導体関連ガス機器に。
●バイオ産業向けに。
●真空ライン制御に。
標準仕様
ガス液体
流体名
Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2 (実ガス校正) 他ガスは換算校正 実ガス校正別途相談 ※オプション:2種流体目盛 |
標準流体(水) 他液体は換算校正 実液校正別途相談 |
流量レンジ
0.5~5ML/MINから3~30L/MIN ※オプション:0.5~3ML/MIN |
0.5~5ML/MINから0.1~1L/MIN ※オプション:0.5~3ML/MIN |
精度
FS±2%(計測ポイント) ※オプション:FS±1%(計測ポイント) |
FS±2%(計測ポイント) |
耐圧
100ML/MIN以下:1.0MPa 5L/MIN以下:0.7MPa 10L/MIN以上:0.5MPa |
5ML/MIN以下:1.0MPa 150ML/MIN以下:0.7MPa 200ML/MIN以上:0.5MPa |
有効目盛
10:1 ※オプション 20:1 |
|
材質SS製BS製
本体ブロック
SUS316 |
真鍮 |
パッキン
バイトン® |
NBR |
フロート
パイレックス®、SUS316 |
保護カバー
アクリル |
耐温度
120℃ |
70℃ |
接続口
Rc1/4(標準)、RC1/8(オプション) |
キャパシティリスト
Air(大気圧条件流量) ML/MIN、L/MIN |
mm 5ML 10ml 20ML 30ML 50ML 100ML 150ML 200ML 300ML
126
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○ |
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156
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206
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○ |
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○ |
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256
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- |
- |
- |
- |
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○ |
○ |
○ |
mm 500ML 1L 2L 3L 5L 10L 15L 20L 30L
126
○ |
○ |
○ |
○ |
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○ |
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○ |
○ |
156
○ |
○ |
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○ |
○ |
○ |
○ |
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○ |
206
○ |
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○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
256
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
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H2O ML/MIN、L/MIN |
mm 5ML 10ml 20ML 30ML 50ML 100ML 150ML 200ML 300ML
126
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
○ |
156
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206
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256
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○ |
mm 500ML 1L
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126
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156
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206
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○ |
256
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○ |