コンパクト設計。 全長寸法は、84mm、104mm、124mm、154mmと非常にコンパクトな流量
計です。幅広いニーズにお応えします。
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低圧力損失。 圧力損失を出来る限り少なくし、供給圧力が低い場合にもご利用
頂けます。
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条件に合せたバルブ選定。 御指定の供給圧力により4種類のニードルバルブの中から最適な
ものを選定致します。
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優れた安定性。 フローメータチューブは全て精密成型管を使用していますのでフ
ロートの再現性、安定性に優れています。
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低価格。 徹底した合理化設計により、低価格化を実現しました。
用途
●環境計測機器に。
●一般分析機器に。
●パージ装置に。
●半導体機器に。
標準仕様
流体名
Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2(実ガス校正) 他ガスは換算校正、実ガス校正別途相談 |
流量レンジ(FS)
1L,2L,3L,5L,10L,15L,20L/MIN |
精度
FS±5%(計測ポイント) |
耐圧
5L/MIN以下:0.8MPa 10L/MIN以上:0.5MPa |
有効目盛
10:1 |
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材質S製BS製
本体ブロック他
SUS304 SUS303 |
真鍮 |
テーパー管
パイレックス® |
パッキン
バイトン® |
NBR |
フロート
パイレックス®、SUS316 |
保護カバー
アクリル |
(耐温度)
120℃ |
70℃ |
接続
Rc1/8(標準)、Rc1/4(オプション) |