Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2（実ガス校正）他ガスは換算校正、実ガス校正別途相談
1L,2L,3L,5L,10L,15L,20L/MIN
FS±5%（計測ポイント）
5L/MIN以下：0.8MPa 10L/MIN以上：0.5MPa
10:1

SUS304 SUS303	真鍮
パイレックス®
バイトン®	ＮＢＲ
パイレックス®、SUS316
アクリル
120℃	70℃
Rc1/8（標準）、Rc1/4（オプション）